碳化硅晶体工艺设备

碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备加速

2023年4月26日  1）碳化硅切割设备方面：国内首款高线速碳化硅金刚线切片机 GCSCDW6500可获得和砂浆切割相同的晶片质量，同时大幅提升切割效率， 显著降低生产成本，行业内独家实现批量销售，实现国产替代，同时公 司已推出适用于 8 寸碳化硅衬底切割的碳化硅金刚线切片机。

首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有多难做？

2020年10月21日  碳化硅材料整线关键工艺设备共22种，下面就介绍一下我国碳化硅的发展现状，和碳化硅晶体生长及加工的关键设备。 碳化硅半导体产业发展现状

国内碳化硅（SiC）长晶炉供应商10强 艾邦半导体网

5 天之前  目前国内主要的碳化硅长晶炉厂商主要分为两种类型，一是专业晶体生长设备供应商，二是碳化硅衬底厂商（采用自研/自产设备的模式），在两者共同推动下，基本实现了设备国产化。 主要设备企业有： 北方华创科技集团股份有限公司 () https://naura/ 北方华创科技集团股份有限公司成立于2001年9月，2010年在深

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2024年4月30日  在风力发电机、光伏逆变器、储能变流器中应用碳化硅器件，可以显著提升系统的能量转换效率和可靠性，并延长设备循环寿命和降低设备体积和重量，实现更低的LCOE（度电成本）。

8英寸碳化硅设备碳化硅设备研发、生产、销售企业苏州优晶

碳化硅作为全球先进的第三代半导体材料，具有高热导率、高击穿电场强、高饱和电子漂移速度和高键合能等特性，碳化硅功率器件在耐高压、高频、高温以及大功率应用中具有显著优势。

碳化硅设备研发、生产、销售企业苏州优晶半导体科技股份

2024年3月12日  公司经多年努力研发电阻法碳化硅晶体生长设备及工艺，于2019年成功研制出6英寸电阻法碳化硅单晶生长设备，经持续工艺优化，目前已推出至第四代机型⸺UKING ERH SiC RV40电阻法碳化硅长晶设备，可用于6英寸、8英寸量产。

南京晶升装备股份有限公司半导体级单晶硅炉碳化硅单晶炉

2024年6月14日  南京晶升装备股份有限公司成立于2012年2月，是一家专业从事812英寸半导体级单晶硅炉、68英寸碳化硅、砷化镓等半导体材料长晶设备及工艺开发的国家高新技术企业。 地处于钟灵毓秀、虎踞龙蟠的金陵古都的江苏省会城市南京。 公司凭借多应用领域产品技术开发经验，已在晶体生长设备领域形成丰富产品序列，可满足客户差异化、定制

打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力

2024年3月22日  打造首款国产碳化硅晶体生长设备 在中国，电动汽车和诸多新兴行业的蓬勃发展为碳化硅衬底材料带来广阔机遇。 碳化硅半导体材料的生产技术日渐成熟稳定，并已形成相当的工业规模。 作为最早将碳化硅晶体设备引入中国市场的企业之一，德国PVA TePla集团始终致力于融合中德前沿技术优势。 “SiCN”融汇了中国的本土化采购、生产

碳化硅晶体生长炉中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

设备用途： 本设备要求采用感应加热方式，在惰性气体（氩气）环境下将石墨坩埚中的碳化硅粉末升华，沉积到碳化硅单晶仔晶上，即物理气相沉积法（PVT法）生长6″碳化硅单晶。

产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”腾讯新闻

2022年12月15日  设备端受掣肘 由于碳化硅具有宽禁带宽度、高击穿电场、高热导率、高电子饱和速率及更高的抗辐射能力等优点，是高温、高压、大功率应用场合下极为理想的半导体材料，被广泛应用于新能源汽车、光伏、储能、电网、5G基站、轨道交通、数据中心、白电、消费电子等市场。 据Yole预测，2025年全球碳化硅功率半导体市场规模将达到2562

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